廢氣處理
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主
要
污
染
物 |
污染物
|
產生濃度
|
風量
|
標準要求
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產生方式
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IPA
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100
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60000
|
≤15mg/m3 |
車間工藝廢氣
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PGMEA
|
150
|
60000 |
≤15mg/m3 |
PGME
|
100
|
60000 |
≤15mg/m3 |
其他：
需新建廢氣處理設施、處理設施提標改造
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