生長(zhǎng)臺(tái)尺寸：φ100mm
      控制方式：觸摸屏控制，PLC工藝菜單運(yùn)行（手動(dòng)或自動(dòng)）
      微波電源： MUEGGE 10KW 2.45GHz
      真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
      流量計(jì)：日本KOFLOC
H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）
      腔體冷卻方式：水冷
      測(cè)溫：紅外測(cè)溫儀300-1400℃
      機(jī)臺(tái)尺寸：1215mm（長(zhǎng)）*1114mm（寬）*2000mm（高）
      供電：380V 三相五線
      能耗：16kw